Author	สุรศักดิ์ โกสิยพันธ์
Title	การผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิคส์ / สุรศักดิ์ โกสิยพันธ์ = Fabrication of alumina for microelectronic uses / Surasak Gosiyapun
Imprint	2536
Connect to	http://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/47394
Descript	[15], 117 แผ่น : ภาพประกอบ, แผนภูมิ

การศึกษาวิจัยนี้ เป็นการศึกษากรรมวิธีการผลิตแผ่นรองรับอะลูมินาสำหรับใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ด้วยอะลูมินาชนิดที่มีความบริสุทธิ์สูงถึงร้อยละ 99.32 อนุภาค ส่วนใหญ่มีขนาด 2-6 ไมโครเมตร ใช้แมกนีเซีย เป็นตัวช่วยลดอุณ[ห]ภูมิในการเผา ส่วนตัวช่วยอื่น ๆ เช่น สารช่วยการกระจายลอยตัวใช้แอมโมเนียมโพลีอะคริเลท สารช่วยการยึดเกาะใช้โพลีอะคริเลท เอสเทอร์ เป็นต้น ใช้วิธีการขึ้นรูปด้วยการหล่ออะลูมินาสเลอร์รีบนแผ่นฟิลม์ หรือวิธีการที่เรียกว่าดอกเตอร์เบลด ผลจากการศึกษาทดลองสามารถผลิตชิ้นทดลองได้ขนาดหนา 0.4-1.0 มิลลิเมตร กว้าง และยาวได้ตามต้องการ ขณะที่เป็นผลิตภัณฑ์ดิบ มีความอ่อนนุ่มคล้ายแผ่นยาง สามารถม้วนเก็บในแผ่นฟิลม์ได้ ใช้อุณหภูมิในการเผาสูงสุด 1500 องศาเซลเซียส จากการศึกษาพบว่าคุณสมบัติที่ดีของผลิตภัณฑ์ นอกจากขึ้นอยู่กับอัตราส่วนการผสมและอุณหภูมิในการเผาแล้ว ยังขึ้นอยู่กับรูปร่างและขนาดของอนุภาค พื้นที่ผิว ตลอดจนความหนาแน่นของผลิตภัณฑ์ด้วย ซึ่งได้บรรจุอยู่ในกระบวนการศึกษาทดลองครั้งนี้
Alumina subst[r]ate for microelectronic used was fabricated from high purity alumina (99.32%,AL₂o₃) of which average grain size was 2-6 {u1D707}{u1D62E} Doping agent, deflocculant and binder were magnesia (Mg O) , ammonium polyacrylate and polyacrylate ester respectively. Doctor Blade's method was employed in the sheeting of the substrate. Free size sheet with thickness 0.4-1.0 mm. were successfully produced. These green sheets were soft like rubber which could be cut and rolled. The highest sintering temperature was 1500℃. It was found that the good sheet properties highly depended on composition, sintering temperature, particle size, surface area and density.

1. อะลูมินัมออกไซด์
2. ไมโครอิเล็กทรอนิกส์
3. Aluminum oxide
4. Microelectronics