Office of Academic Resources
Chulalongkorn University
Chulalongkorn University

Home / Help

Titleการสร้างเลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์ และการประยุกต์ใช้งานในการแอนนีลซิลิกอน / ธานี แดงพวงไพบูลย์ = CO2 laser construction and its application in silicon annealing
Author Thanee Dangpuangpaiboon
Imprint 2526
Connect tohttp://cuir.car.chula.ac.th/handle/123456789/18112
Descript [15], 102 แผ่น : ภาพประกอบ

SUMMARY

วิทยานิพนธ์นี้ประกอบด้วย 2 ส่วน ส่วนแรกได้แก่การสร้างเลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์ เลเซอร์นี้สามารถใช้งานได้ทั้งแบบคลื่นต่อเนื่อง และแบบคิว-สวิทซ์ ซึ่งมีกำลังเอาท์พุท 10 วัตต์ และ 1 กิโลวัตต์ ตามลำดับ ส่วนที่สองได้แก่การนำแสงเลเซอร์ทั้งแบบคลื่นต่อเนื่อง และแบบคิว-สวิทซ์ ไปแอนนีลหัวต่อพี-เอ็น ที่สร้างบนแผ่นซิลิกอน ผลการทดลองพบว่า การแอนนีลด้วยแสงเลเซอร์แบบคิว-สวิทซ์ พลังงานขนาด 2.0-8.0 จูล/ตารางเซนติเมตร ไม่สามารถทำให้การกระจายตัวของอะตอมฟอสฟอรัสที่แพร่ซึมเปลี่ยนแปลงไป แต่สำหรับหัวต่อพี-เอ็น ที่ทำขั้วต่อไฟฟ้าด้วยนิเกิล ความต้านทานอนุกรมจะมีค่าน้อยลงเมื่อแอนนีลด้วยแสงเลเซอร?พลังงานประมาณ 3.0 จูล/ตารางเซนติเมตร และความต้านทานอนุกรมนี้จะลดลงจนมีค่าอิ่มตัวเมื่อแสงเลเซอร์มีพลังงานประมาณ 7.0 จูล/ตารางเซนติเมตร
This thesis consists of two parts. The first part was the construction of Co2 laser. This laser could be operated both in CW and Q-switch modes with power outputs of 10 watt and 1 kilowatt respectively. The second part was the application of laser with CW and Q-switch modes in the annealing process of silicon P-N junction. The experimental results showed that the annealing of Q-switch laser with energy between 2.0 to 8.0 joule/cm2 could not change the impurity profile of phosphorus, but the P-N junction with nickel contact would have less series resistance at 3.0 joule/ cm2 and this series resistance become saturated at 7.0 joule/ cm2.




Location



Office of Academic Resources, Chulalongkorn University, Phayathai Rd. Pathumwan Bangkok 10330 Thailand

Contact Us

Tel. 0-2218-2929,
0-2218-2927 (Library Service)
0-2218-2903 (Administrative Division)
Fax. 0-2215-3617, 0-2218-2907

Social Network

  line

facebook   instragram